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等離子體增強化學氣相沉積系統CVD

等離子體增強化學氣相沉積系統CVD

多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術,主要借助微波或射頻的方法將目標氣體進行電離,促進化學反應在較低的溫度下進行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。...

MORE INFO → 【化學氣相沉積系統】 2022-11-07

澤攸精選國產科學儀器:臺式掃描電鏡SEM,STM,原位電鏡系統,臺階儀,CVD,二維材料轉移臺(全部自主研制)

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MORE INFO → 【公司新聞】 2022-11-07

等離子體增強化學氣相沉積系統CVD/PECVD應用案例

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MORE INFO → 【化學氣相沉積系統】 2022-11-07

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